目次
放射方向回転精度(0.01+3H/10000)㎛ 軸方向回転精度(0.02+3R/10000)㎛
リニアモーター駆動による低振動、エアベアリングによる非接触ガイド、そして特徴的なポジショニング機能によりZ軸とR軸の位置決め正確性や極めて高いポジショニングを可能にしました。非接触駆動により摩耗レス化を実現、長期に渡って高精度測定をしていただけます。
検出器にモーターを内蔵。測定力、測定方向を自動切り替え可能です。
繰り返し精度0.3μmで直径測定が可能です。
1つのCNCプログラムで真円度測定と表面粗さ測定が可能です。
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